Перейти к основному контенту
PROНаука ,  
0 
Эксклюзив

Ученые ДГУ разработали аналог оборудования для изготовления нанопленок

Группой ученых Дагестанского государственного университета (ДГУ) реализован проект по созданию бюджетного аналога технологической платформы атомно-слоевого осаждения (АСО) тонкопленочных структур с возможностью мониторинга изменения массы и толщины в процессе роста пленок. Об этом РБК Кавказ рассказал руководитель проекта и главный разработчик Рустам Амашаев.

Работа над созданием оборудования началась в 2023 году, после победы сотрудников Инжинирингового центра ДГУ в грантовом конкурсе «Старт-1» Фонда содействия инновациям с проектом «Разработка технологической платформы атомно-слоевого осаждения (АСО) для синтеза материалов микро- и наноэлектроники». Главная задача ученых заключалась в создании установки АСО, аналогичной зарубежной по основным характеристикам, при этом доступной отечественному потребителю по цене. В результате были произведены проектирование и сборка прототипа установки базового типа для термического атомно-слоевого осаждения, осуществляемого на нанометровом уровне с контролем толщины и прироста массы.

Для чего нужны тонкие пленки

Наиболее значимыми областями применения технологий АСО являются:

— покрытия на дисперсных материалах для композитов;

— прецизионный контроль размера пор для фильтров;

— изготовление активных элементов для болометров, фотодетекторов, фотоэлектронных умножителей и т.д.;

— осаждение функциональных тонких пленок для микроэлектроники;

— контроль шероховатости поверхности на атомарном уровне для оптики и микроэлектроники;

— защитные покрытия для ювелирных изделий;

— функциональные и барьерные покрытия для биоимплантов;

— защитные покрытия электродов для литий-ионных аккумуляторов;

— функциональные покрытия для катализа и сорбции.

Передовые технологии АСО

Атомно-слоевое осаждение (АСО) является наиболее перспективной, последовательно разработанной технологией нанесения тонких пленок (нанопленок). С помощью данного метода возможно нанесение сверхтонких пленок различных материалов почти на любые типы поверхностей. АСО — ключевая технология, обеспечивающая выполнение задач современной промышленности, производящей интегральные схемы (ИС). Технология позволяет непрерывно уменьшать размеры и увеличивать компоновку электронных компонент, таких как транзисторы, память, конденсаторы, позволяя осуществить производство современных смартфонов, ноутбуков и устройств беспроводных коммуникаций.

«В последнее десятилетие значительно выросла востребованность технологии атомно-слоевого осаждения в микроэлектронике, в связи с чем наблюдается интенсификация научных исследований в области АСО во всех развитых странах. В частности, для производства современных процессоров используют установки АСО вместе с фотографическим оборудованием. Для российского рынка это относительно новое направление, которое сегодня реализуется в Инжиниринговом центре ДГУ», — рассказал Амашаев.

По его словам, осуществление научной и производственной деятельности в области АСО требует создания соответствующего инновационного оборудования для тонкопленочного осаждения.

Преимущества российской модели и цена вопроса

Главными поставщиками установок АСО в мире являются Нидерланды, Южная Корея и США. На сегодняшний день этот тип оборудования включен в санкционный список и не поставляется в Россию.

По словам руководителя проекта, примерная стоимость одной платформы начинается от 20 млн руб. Свою же установку ДГУ готово продавать за 8 млн рублей. «Установка практически собрана руками нашей команды почти полностью из российских комплектующих», — отметил автор проекта.

Рустам Амашаев подчеркнул, что разработка дагестанских ученых имеет некоторые преимущества перед западными аналогами. «Западные установки дают в течение определенного времени заданный продукт, который надо измерять после окончания работ, а наша установка позволяет делать измерения в режиме реального времени, буквально видеть, как происходит рост пленки и как наращивается ее масса (для этого подключены кварцевые весы), а также измерять ее толщину. Мы можем менять какие-то параметры в процессе работы, корректируя ее. А им приходится вынимать из установки свой образец и только тогда делать измерять толщину. Это наша основная фишка», — сказал исследователь.

В ДГУ добавили, что гораздо меньшая стоимость предлагаемой установки АСО по сравнению с импортными аналогами за счет использования отечественных электронных и вакуумных узлов, а также программное обеспечение собственной разработки позволяют сделать доступными исследования в области АСО для российских ученых. На сегодняшний день интерес к приобретению установки дагестанских ученых проявили несколько научных организаций и инжиниринговых центров.

Авторы
Прямой эфир
Ошибка воспроизведения видео. Пожалуйста, обновите ваш браузер.
Лента новостей
Курс евро на 11 сентября
EUR ЦБ: 100,5 (+0,59)
Инвестиции, 17:35
Курс доллара на 11 сентября
USD ЦБ: 91,11 (+0,73)
Инвестиции, 17:35
Все новости Кавказ
Ингушетия сократила объем долгов бюджета в 3,3 раза за 5 летКавказ, 18:03 
НОВАТЭК опроверг сообщения о создании теневого флотаБизнес, 17:57
Глава Севастополя рассказал о звонках Зюганова на фоне выборовПолитика, 17:57
Аналитики оценили снижение цен на жилье в Москве за летоНедвижимость, 17:54
Власти ограничили проезд через промзону Курской АЭСПолитика, 17:51
Официальный курс доллара впервые с конца августа превысил ₽91Инвестиции, 17:50
Нападение ВСУ на Курскую область. ГлавноеПолитика, 17:43
Онлайн-курс Digital MBA от РБК Pro
Объединили экспертизу профессоров MBA из Гарварда, MIT, INSEAD и опыт передовых ИТ-компаний
Оставить заявку
Одиночный майнер добыл блок биткоина и заработал $180 тыс. В чем подвохКрипто, 17:35
Власти Австралии рассмотрят запрет подросткам пользоваться соцсетямиОбщество, 17:33
Как топ-менеджеры «выписывают» себе золотые парашюты и используют фирмуPro, 17:30
Посольство посоветовало гражданам Таджикистана не ездить в РоссиюПолитика, 17:29
Наемнику из США дали почти максимальный срок за участие в боях на УкраинеПолитика, 17:24
Цены на нефть упали ниже $70 за баррель впервые с конца 2021 годаИнвестиции, 17:20
Колокольцев представил новых глав МВД Алтая и Челябинской областиОбщество, 17:14